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MKS电源-射频功率电源
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产品名称: MKS电源-射频功率电源
产品型号:
产品展商:
MKS电源
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简单介绍
ENI提供高可靠性的固态电源，其频率从2MHz到60MHz，功率从3百瓦到13千瓦，还可选自动频率跳鞋，广泛应用于Etch，CVD和PVD等工艺。
MKS电源-射频功率电源的详细介绍
中频射频功率电源（2MHz）
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NOVA系列，功率为2和5千瓦，自动频率调谐可选。
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Spectrum 系列，功率为5和11千万，自动频率调谐可选。
高频射频功率电源（13.56MHz）
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elite系列风冷电源，功率为300，600和750瓦。
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GHW系列电源，功率为1.25，2.5和5千瓦，自动频率调谐可选。
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Spectrum 系列电源，功率为3千瓦，自动频率调谐可选。
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SurePower系列电源，功率为3.5，5.5，6.5，10.5和13千瓦，自动频率调谐可选。
超高频射频功率电源（40.68-60MHz）
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GEW系列电源，功率为3.5和5千瓦，40.68MHz自动频率调谐可选。
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LVF系列电源，功率为3.5千瓦，60MHz，自动频率调谐可选。