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反应气体发生器
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产品名称: 反应气体发生器
产品型号:
产品展商:
MKS
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简单介绍
ASTRON系列远程等离子体电源
反应气体发生器的详细介绍
基于NF3等含氟气体电力，产生活性气体，广泛应用于CVD等工艺腔清洗，它具有功能大，效率高等特点。
产品有：
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ASTRON i-AX7670(3升)
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ASTRON ex-AX7685(6升)
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ASTRON hf-s-AX7645(15升,分体式）
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ASTRON hf-AX7640（15升）
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ASTRON hf+AX7635（22升）
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ASTRON hf++AX7667（30升）